1 前言

　　集成电路测试机的种类,若依照其测试功能一般可区分为Logic测试机，Memory测试机及Mixed-signal测试机三大类。其中Logic测试机应用于一般消费性IC，如Voice，MCU IC等测试使用，Memory测试机应用于DRAM，Flash，SRAM等IC测试使用，而Mixed-signed测试机，则应用于Mixed-Signal IC测试，如Vedio，SoC IC等测试使用。

　　虽然不同种类的IC测试机使用于不同类型的IC测试使用，但其基本的测试功能及原理实际上差异性并不大，只是不同类型的测试机多了某些特别的测试功能罢了，其中以Logic测试机之测试功能为基本，故本文将以Logic测试机之功能及使用作为IC测试机之介绍。Logic IC测试机之功能一般可区分为：AC测试部分，DC测试部分，电源供给部分。

　　（1）AC测试部分

　　该AC测试部分主要的功能是将利用存放在Local Memory的Pattern，经由时序产生模块(Timing Generator)，波形格式模块(Waveform Formatter)及信号准位驱动模块（Driver）产生给DUT IC所需要的输入信号。同时DUT IC输出的信号也经由信号准位比较模块(Comparator) ，时序产生模块（Timing Generator）及处理器（Sequencer）和存放在Local Memory的Pattern比较(Comparison)以测试该IC的输出信号是否正常。AC测试部分其模块如图1所示。

　　（2）DC测试部分

　　DC的测试是使用参数量测模块（Parameter Measurement Unit, PMU）来量测DUT IC有关该IC的漏电源，输出入工作电流/电压是否正常，PMU是一组可以提供电流源及电压源的电源供应器，同时也是一组具有可量测电流值及电压值的量测设备。PMU具有电流及电压限制功能，可让PMU所施予电流及电压值不会超过该电流及电压的限制值，以保护DUT IC不被施予的电流及电压烧掉。DC测试部分其模块如图2所示。

　　（3）电源供应部分

　　电源供给模块（Device Power Supply, DPS）来供给DUT IC工作所需要的电源，并量测该IC的静态或动态电流是否正常。DPS是一组可以提供电压源的电源供应器，同时也是一组具有可量测电流值的量测设备。DPS具有电流限制功能，可让PMU所施予电流值不会超过该电流的限制值，以保护DUT IC不被施予的电流烧掉。电源供给部分其模块如图3所示。

　　2 IC测试机的使用

　　IC测试机的使用包含有：测试图样编辑（Test Pattern），测试程序（Test Program）编写，测试程序除错，IC电气特性分析以及测试结果统计 等主要项目。

　　（1）测试图样编辑

　　测试图样分为二部分，部分为控制指令（u-Intrution）：控制测试图样的测试动作流程，其指令如：Repeat，Match，Jump等，另一部分为：图样符号(Pattern Symbol)如0，1，L，H，Z等。测试图样是用于IC功能AC测试使用，IC测试机的测试图样编辑功能提能供Test Pattern的显示，修改，贮存等功能。

　　（2）测试程序编写　

　　依照IC需要测试项目编写测试程序，程序编写可以利用图像(Icon)拉图的方式编写，使用者只要在该测试图像中输入测试的参数就可以。此种使用方式对于测试程序编写较为容易。另一种是使用“指令”（Command）方式编写测试程序，此种方式较为复杂，使用者需要熟记指令的语法，但对于特殊的IC测试应用，指令的使用则较拉图方式来得更有弹性且方便。

　　（3）时序图显示（Logic Waveform）

　　该功能可以记录及显示IC测机输出信号的波形及DUT IC输出信号的波形，若DUT IC输出的信号和Test Pattern不一样该时序图显示功能也能显示出来。

　　（4）测试程序除错（Debugging）

　　可以显示各种量测的结果,同时也让使用者直接修改测试参数，并可以立即量测。

　　（5）Shmoo分析

　　可量测及分析IC的电气特性，使用者可以设定一个或多个测试参数的范围值后，再量测IC，以得知IC在某测试范围其功能会正常，在某测试范围会发生异常，如此就可以得知该IC的使用电气特性。

　　（6）测试结果（Summary Report）

　　IC测试机会将IC所测试的项目及测试值显示及记录下来，同时也会将IC依照测试程序的设定，将不同测试项目的结果给予分类及统计，以作为测试生产报表使用。

　　3 总结

　　IC测试机除了给IC代工测试厂，作为IC测试使用之需要，同时也可以给IC设计公司，作为IC工程验证使用，它是十分方便且有用的设备，然而却发现IC测试的需要较高于IC测试机所能提供的测试功能，其原因不外乎是当IC有研发出来的新功能时，IC测试机才会要开始开始研发该部分的测试功能，故IC测试机总是无法完全满足使用IC功能的测试需要，因为如此，IC测试将提供给每位IC测试工程师及IC测试机制造厂一个很大的努力空间，期望于未来将有更多的工程师能投入IC测试的领域，彼此相互研究及分享IC测试的经验，进而提高IC测试技术。