芯片制造空气污染

出处：computer00 发布于：2007-04-29 10:16:06

普通空气中含有许多污染物，只有经过处理后才能进入洁净室。主要的问题是含有在空气中传播的颗粒，一般指微粒或浮尘。普通空气包含大量的微小颗粒或粉尘，见图5.5。微小颗粒（悬浮颗粒）的主要问题是在空气中长时间飘浮。而洁净室的洁净度就是由空气中的微粒大小和微粒含量来决定的。
美国联邦标准209E 规定空气质量由区域中空气级别数来表示。3 标准按两种方法设定，一是颗粒大小，二是颗粒密度。区域中空气级别数是指在一立方英尺中所含直径为 0.5 微米或更大的颗粒总数。一般城市的空气中通常包含烟,、雾、气。每立方英尺有多达五百万个颗粒, 所以是五百万级。随着芯片部件尺寸的更新换代，不断提高的芯片灵敏度要求越来越小的颗粒。4
图示5.6表显示了标准 209E 规定的颗粒直径与颗粒密度的关系。图示5.7 列出了不同环境下洁净度级别数与对应的颗粒大小。联邦标准209E规定洁净度可到。因为 209E 以 0.5 微米的颗粒定义洁净度，而成功的晶圆加工工艺要求更严格的控制，所以工程技术人员工程师们致力于减少10级和1级环境中0.3 微米颗粒的数量。例如: Semetech/Jessi 建议 64 兆内存加工车间为 0.1 级，256 兆为 0.01 级。5

图5.5 空气中颗粒的相对尺寸 (微米)
Aerosols浮质 Metallurgical Dust金属尘埃
Cement Dust水泥尘埃
Tobacco Smoke烟尘 Insecticide Dust杀虫剂微粒
Human Hair Diameter人类毛发的直径

图5.6 空气洁净等级标准 209E
Proposed Federal Standard 209E
建议联邦标准 209E
Airborne Particulate Cleanliness Classes for Clean Rooms and Clean Zones
洁净室与洁净区的空气颗粒洁净等级
Class1, 10, 100, 1000, 10000, 100000
，十级，百级，千级，万级，十万级
Particles size (micrometer)
颗粒尺寸 (微米)
Class limits in particles per cubic foot of size equal to or greater than particles sizes shown
洁净等级是指一平方英尺中颗粒尺寸等于或大于图中所示颗粒尺寸
*The class limit particle concentrations shown are defined for class purposes only and do not necessarily represent the size distribution to be found in any particular situation
图中所示洁净等级所指颗粒含量只用于等级定义，并不代表任何特定环境下的尺寸分布

图 5.7 不同环境的典型级别数
Enviroment环境
Class Number 级别数
Maximum particle size (micron) 颗粒尺寸限度(微米)
Projected-256 Mbit 256兆内存加工车间
Mini enviroment微环境
ULSI Fab超大规模集成电路加工车间
VLSI Fab特大规模集成电路加工车间
VLF station Assembly area空气层流立式工作台装配区
House room库房
Outdoors室外

关键词：芯片

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