压阻式传感器的典型特点是什么?

出处:面包板 发布于:2020-03-26 14:03:50

  压阻式传感器的典型特点是什么

  ①压阻式传感器的灵敏系数比金属应变式压力传感器的灵敏度系数要大50-100倍。有的时候压阻式传感器的输出不需要放大器就可直接进行测量。

  ②由于它采用集成电路工艺加工,因而结构尺寸小,重量轻。

  ③压力分辨率高,它可以检测出像血压那么小的微压。

  ④频率响应好,它可以测量几十千赫的脉动压力。

  ⑤由于传感器的力敏元件及检测元件制在同一块硅片上,所以它工作可靠,综合精度高,且使用寿命长。

  ⑥由于采用半导体材料硅制作,传感器对温度比较敏感,如不采用温度补偿,其温度误差较大。

  压阻式传感器为什么会产生温度误差?如何补偿?

  压阻式传感器有两种类型:一类是利用半导体材料的体电阻制成粘贴式的应变片,形成半导体应变式传感器;另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成扩散电阻,构成敏感元件,称为扩散型压阻式传感器。

  压阻式传感器受温度影响较大,会产生零位漂移和灵敏度漂移,因而会产生温度误差。

  压阻式传感器中,扩散电阻的温度系数较大,电阻值随温度变化而变化,故引起传感器的零位漂移。

  传感器灵敏度的温漂是由于压阻系数随温度变化而引起的。当温度升高时,压阻系数变小,传感器灵敏度要降低,反之,则灵敏度升高。

  零位温漂一般可用串、并联电阻的方法进行补偿。

  灵敏度温漂通过在电桥的电源回路中串联二极管来补偿。

  另外,压阻式传感器也可将四个扩散电阻接成全桥,为了减小温度的影响,可采用恒流源供电。

  可见,电桥的输出与电阻变化成正比,即与被测量成正比,也与电源电流成正比,输出电压与恒流源电流的大小和精度有关,但与温度无关,所以恒流源有很好的温度补偿作用。


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