FBAR的三种模型

出处:互联网 发布于:2020-06-30 14:25:34

   常用的 FBAR 模型有三种:Mason 模型、BVD 和 MBVD 模型。

  Mason 模型基于是 FBAR 的物理模型,BVD 和 MBVD 模型是 FBAR 的行为模型

  Mason 模型

  Mason 模型是一维的物理模型。可以很好的表征出 FBAR 的每一层物理结构。

  压电材料模型可以理解为在非压电材料的电学模型(下左图)上,增加声 / 电转换电路(下右图)。

  在这个电路基础上,可以再添加顶电极层、底电极层、支撑层等等,完成整个 FBAR 的等效电路,如下图。(计算网络终端阻抗的方法用的是微波电路里的传输线方程,这让我倍感亲切)

  Mason 模型的等效电路方程:

  小结:给定材料参数,几何尺寸和边界条件等,就可以计算 FBAR 的等效电路。

  BVD(Butterworth-Van Dyke)模型

  BVD 模型是以电学参数为基础的电路模型,C0 为的静态电容,Cm 为机械相关的动态电容,Lm 为机械相关的动态电感,Rm 为机械相关的动态电阻,电路图下

  这就是个常见的 LCR 串并联电路,Zin 可以由 LCR 的值快速计算得到

  模型的个参数可以由材料的系数计算得到,实际应用中通常更加 3D 仿真或者实际测试值参数提取得到。

  MBVD(Modified Butterworth-Van Dyke)模型

  MBVD 模型在 BVD 模型的技术上,增加了介质损耗 R0 和机械 / 阴线损耗 Rs. 电路图如下

  小结:BVD 和 MBVD 都是基于电路集总参数模型,电路更简单。

  计算 FBAR 电路模型,通常使用 ADS 等电路仿真软件,这个已经有很多文章介绍了。后面的文章,我准备从 FBAR 的电路模型出发,用微波电路的内容,综合出谐振器的输入阻抗和响应。



版权与免责声明

凡本网注明“出处:维库电子市场网”的所有作品,版权均属于维库电子市场网,转载请必须注明维库电子市场网,http://www.dzsc.com,违反者本网将追究相关法律责任。

本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。

如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。

在线人工客服

买家服务:
卖家服务:

0571-85317607

客服在线时间周一至周五
9:00-17:30

关注官方微信号,
第一时间获取资讯。

建议反馈

非常感谢您使用维库电子市场网,欢迎向阿库提出宝贵的意见。您的参与是维库提升服务的动力!意见一经采纳,就有感恩红包奉上哦!

联系人:

联系方式:

建议或问题:

按住滑块,拖拽到最右边
>>