新型MEMS气流传感器
出处:cnchip 发布于:2007-11-26 11:54:04
“我们推出的D6F气流传感器代号为企鹅,永远不需要过滤器。当过滤器被堵塞的时候,会干扰流量读数,”欧姆龙电子部品的总经理Yoshio Sekiguchi表示,“我们利用旋转气流产生离心力,解决了这个问题。”
Sekiguchi声称,目前传统流量传感器市场规模达10亿美元。这些传感器被用于方方面面,从医疗呼吸器到消费AV投影机。前者用于监控病人,后者则用于检测风扇过滤器阻塞。工业应用包括现有的可变气流(VAV)通风机,以及未来在燃料电池中用于探测气体交换过程。
象所有的MEMS传感器一样,该解决方案依赖于如何设计器件中的机械结构。在欧姆龙的D6F气流传感器中,机械结构在芯片外部展开,形成类似波导管的路径,就象张开翅膀的企鹅,加速气流使之向下沿着一“翼”,绕过一个锐角转角,再从另一“翼”流出。简单地说,欧姆龙利用精心设计的气流路径,形成旋风式气流,离心力驱使灰尘等重粒子离开位于中央的通向MEMS传感器的路径,从而可以直接测量气流,摆脱过滤器的干扰和维护工作,并防止灰尘影响传感器计读数。
气流测量本身是利用一个带有双热电堆的MEMS传感器完成的,这两个热电堆在一个位于中央的发热器的两侧,一边一个。在没有气流的时候,两个热电堆测出的空气温度相同。但当有气流经过热电堆的时候,进口处气流的温度低于出口处的气流温度,温度差与气流流量成正比。
目前,欧姆龙的MEMS传感器可用于压力、惯性(加速计)、气流、温度和红外探测。
版权与免责声明
凡本网注明“出处:维库电子市场网”的所有作品,版权均属于维库电子市场网,转载请必须注明维库电子市场网,https://www.dzsc.com,违反者本网将追究相关法律责任。
本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
- DHT11传感器简介及数据传输过程2024/3/20 17:23:57
- 什么是DS18B20温度传感器,DS18B20温度传感器的优缺点2024/2/26 17:15:41
- 使用细铜线作为集成传感器和加热器进行温度控制2024/2/18 16:11:54
- 使用电感器改进现有设计2024/1/22 16:42:19
- 什么是SLAM?SLAM算法涉及的4要素2024/1/17 16:35:15