MEMS传感器热点应用转向消费电子

    “以往的MEMS传感器价格昂贵，一般用于、工控、仪器仪表等应用。通过多年的发展，其尺寸不断缩小，技术不断成熟，成本一再降低。目前MEMS传感器的热点应用市场将转变为民用产品市场。”青鸟元芯微系统科技有限公司的总经理张威如此评论MEMS的发展历程。青鸟元芯的MEMS传感器系列2004年实现量产，目前有MEMS压力传感器、湿度传感器、加速度传感器以及气体传感器系列产品。

    青鸟元芯采用与国际同步的MEMS工艺和专用设计工具，产品具有高可换性及高可靠性等技术特点。其中，湿度传感器为高分子电阻型，具有耐高湿、量程宽、高等特点；压力传感器和加速度传感器采用压阻原理，输出信号大、信号检测容易，产品主要应用在汽车、消费电子如家用电器、玩具等领域。比如该公司的YX-AS-800N加速度模块，分辨力低于2mg，抗冲击能力达50,000g，响应带宽可以从30Hz扩展到160Hz。

    该公司还开发出一系列气体类MEMS传感器，如YX-GS-800M乙醇气体传感器、 YX-GS-200甲烷气体传感器，以及YX-GS-500一氧化碳传感器。张威认为，这类产品市场前景很好，市政建设和社会对绿色环保的关注是推动该市场需求的强大动力。“我们不仅有价格优势，还在不断扩展产品量程，采用新技术提高产品和稳定性。”他表示，“同时，我们将不断帮助客户完善和开发产品应用方案，使他们的同我们分享MEMS技术带来的效益。”

    青鸟元芯的同行，主攻加速度传感器的美新半导体亦认为传感器应用市场将会有所变化。其工程部经理华亚平认为：“随着MEMS技术的发展，MEMS传感器将会越来越多地跨越价格的门槛走进消费电子市场。”

    与青鸟元芯的MEMS加速传感器采用压阻原理不同，美新加速传感器采用热力学原理来测量速度的变化。密封在芯片中的测量媒质是空气，芯片中间有一个热源，当被检测物体受到外力作用产生运动或者加速度的时候，可测量出被检物体的加速度改变。华亚平表示，美新的加速度传感器没有可动零件，具有本质上的高可靠性、易集成、低成本等优点。

    一般来说，汽车是加速度传感器重要的应用领域，在停车、紧急刹车、防盗系统中，加速度传感器可以作为汽车的触觉系统，迅速将速度变化反馈给CPU，而相应地采取应急措施。“在汽车市场，我们可以说是已经取得了市场和客户的认可，同时也开始获得一些回报：如美新与德州仪器公司合作，在汽车电子领域已获得了不少的项目，同时，一些的汽车电子制造商正逐步加大对美新产品的采购量。”华亚平说。据介绍，2004年美新产品的失效率仅1.08ppm；2005年，失效率为3.56ppm(由于销售量大幅增长，统计基数与2004年不同)，“这样的MEMS产品可靠性在都是水平。”他表示。

    与此同时，加速度传感器在手机、手提电脑，游戏机等便携式产品中的应用也在不断创新，IBM公司2004年即在其ThinkPad笔记本电脑中采用了美新的加速度传感器，用来检测硬盘的震动，在笔记本电脑受到冲击或者坠落的情况下，起到保护硬盘数据的作用。该类传感器还可以为手持产品增加许多新卖点，比如在手机中利用加速度传感器实现计步器功能，计算运动者的步行数目和消耗的热量。

    美新正进一步向消费电子市场扩张。“今年我们将主要针对该市场推出一系列低价产品，目前已完成工程样片，预计第二季度将会量产。同时也会推出一系列汽车用高性能产品。”华亚平表示。同时，他还强调了其技术支持策略，“我们在市场上推广的所有应用，都有相应的解决方案，美新对于每种应用都可以提供给客户通用语言的源程序，以利于客户的研发。”