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爱普生等利用MEMS开发出波长可变滤波器
新闻出处：电子市场 发布时间： 2006年09月11日
    精工爱普生和Santee公司现已使用MEMS技术，面向光通信领域开发出新型波分滤波器。主要面向采用波分复用装置的长距离通信用波长监视设备等。“设备尺寸将会大大小于使用棱镜和AWG等装置的老式滤波器” 
　　此次开发的滤波器可在1520nm～1600nm的光波长之间，对需要滤波的中心波长进行控制。滤波器的工作原理是：通过控制前级激光振荡器常用的FP型共振器长度，对在共振器中反复反射的光波波长进行控制。只有反复反射后得到放大的光才能通过滤波器。共振器的长度通过在2枚共振板之间施加电压来控制。共振器有一个反射面是很薄的硅底板，能够像扬声器振动板一样运动。另一个反射面利用玻璃底板进行固定。
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