自动化解决方案提供商Aquest Systems公司日前宣布，公司自动材料输送系统（AMHS）FabEX(TM)的系列技术已经通过美国专利与商标局审核取得专利保护。

　　其中的专利技术涉及到FabEX AMHS前端开启式晶圆传送盒（front opening unified pod，FOUP），传送速度可达3米每秒，另外通过减小振动增加系统可靠性，传送盒可沿曲线或斜坡行进。

　　Aquest目前还有超过12项的专利正在申请中，包括减少传送时间、增加运输能力、简易安装以及可维护性及灵活性等各方面的先进技术。