据路透社报道，尽管全球内存供货商大砍2008年资本支出，但日本半导体设备厂尼康(Nikon)和佳能(Canon)却不约而同预期，面板厂和逻辑IC供货商对于浸润式曝光机(Immersion Scanner)需求将大幅激增。

　　曝光机主要用于微芯片和大型玻璃基板上蚀刻电路，尼康和荷兰设备商ASML、佳能互为竞争对手，据尼康精密设备部门主管Kazuo Ushida日前在SEMICON Japan上表示，2008年市场对于最新款曝光机需求强劲，每台要价上百万美元的曝光机订单，主要来自台湾面板供货商及逻辑IC供货商。

　　对于曝光机下单率大增的现象，尼康也百思不得其解。此外，平面电视所需的TFT LCD面板预期性缺货现象，对于半导体设备商有如一场及时雨。DRAM均价跌跌不休，恐怕导致内存供货商和晶圆代工厂缩减2008年资本支出，因此设备商只好引颈期盼逻辑IC供货商如英特尔(Intel)能增加下单，好弥补营收缺口。

　　佳能在财务报告会上表示，干式蚀刻曝光机2008年全球销售量将暴跌，这是因为内存供货商为了省钱，纷纷改买可蚀刻更小电路体积的先进浸润式曝光机。据了解，由于浸润式曝光机在镜头和硅晶圆之间使用纯水，来增加聚焦深度(Depth of Focus)，因此半导体供货商得以提高生产力并降低制造成本。

　　佳能开发浸润式曝光机市场起步较慢，但希望2010年步进机(Stepper)市占可提高至3成，不过，要达到此目标并非易事，因为主导市场的尼康和ASML也已找到提高浸润式曝光机良率和加速产量的方法。