日前，AIXTRON获得德国领先研究中心马尔堡大学关于首套CCS 300mm CRIUS模块化组合系统的订单，此系统拥有两个MOVPE模块，可用于生长硅和三五族混合型材料。

　　这是首次在300mm配置中采用如此设计的MOVPE系统，尤其适用于在商业化硅晶片上生长三五族化合物半导体。

　　新的MOVPE设备将安装在马尔堡大学材料科学中心的中心技术实验室内。实验室负责人Wolfgang Stolz博士表示，先前我们曾安装过AIXTRON的MOVPE设备，对这款特殊的新型设备我们非常期待。该设备可用于另一项由BMBF资助的研究项目中。此次AIXTRON与马尔堡大学的合作意义重大，众所周知，许多业界正积极采用硅上沉积Ga（NAsP）材料开发二极管激光器，使得制备出的单片集成电路整合了激光器和针对下一代数据通信的硅基芯片。此外，此款新材料对高效的硅上三五族太阳能电池很重要。

　　AIXTRON市场总监Rainer Beccard教授补充道，CRIUS MOVPE成为第一套提供300mm GaAs和其他三五族生产工艺的系统，这套整合了硅上激光器工艺的设备将在未来发挥很大的作用，特别是在一些应用中更是值得期待，比方说采用基于硅上三五族材料的CMOS工艺。