韶阳开发宽幅式大气等离子清洗设备

发布于：2007/6/15 8:31:45 | 1142 次阅读

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     韶阳科技公司为“大尺寸液晶面板关键设备研发联盟”成员，跨足LCD制程设备的CELL段、LCM段及清洗设备。

     韶阳科技在CELL段的主力设备为液晶玻璃影像对位印刷机，该机为LCD液晶玻璃用自动网印机，利用CCD影像高自动对位印刷，可分为接触式及非接触式印刷；搭载精密影像对位，广泛应用于太阳能银胶网印、PCB及半导体制程。

     LCM设备方面，ED自动点胶机用于COG/FOG完成后，在Panel上以空压式Dispensing head进行Dispensing；可搭配LD／ULD做全线In Line设备、全自动视觉对位、及全PC-Based架构，适用各种涂胶部品。

     PLASMA液晶端子清洗机是利用工程的洗净方法，达到COG前端子清洁，搭载丙酮或酒精擦拭细粉及镀膜层，再以大气压PLASMA清除有机物。该机配备全视觉CCD，可对应各种尺寸，并可搭载LD、UD做自动联机。

     至于PLASMA大气等离子源，用以清洁玻璃表面有机化合物，增加端子或ACF的附着力；具有电极设计，表面清洁效果优异，等离子制程温度低，且不伤基板。

     清洗设备方面，SPIN式MASK清洗机使用旋转方式清洗，除去及洗净MASK玻璃的附着污物，集毛刷清洗、超音波洗净、CDA吹干，多功能、自动化于一机。该公司统计，目前已销售液晶玻璃影像对位印刷机共11台，PLASMA液晶端子清洗机60台，ED自动点胶机29台，新研发的SPIN式MASK清洗机也有实绩。

     相较于国外厂商，韶阳除具备价格竞争优势，在技术支持及售后服务，因不需仰赖国外原厂，处理时效更迅速。韶阳将朝向宽幅式(六代以上面板)大气等离子清洗设备进行开发，除能应用在制程中基板表面清洁，未来亦将朝向光阻去除、镀膜、表面改质等技术领域研发，达到加快生产速度、降低生产成本、提高产品可靠度。

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