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中芯部分45纳米设备进厂 积极准备试产
新闻出处:中国电子资讯网  发布时间: 2008年06月30日

  继获得IBM技术授权之后,中芯国际45纳米工艺技术再获重大进展。有报道称中芯已将购得的45纳米浸润式微显影(immersion lithography)设备于29日运往上海厂区Fab8。这也是中芯自有第一台45纳米工艺技术设备。

  中芯透露,上海12英寸厂Fab8中4条生产线首批产品仍将采用90纳米工艺,但积极酝酿65、45纳米芯片的生产事宜,并计划2008年底试产45纳米芯片。

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