156单晶硅片

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156单晶硅片

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详细信息

种类:元素半导体

规格	156*156单晶硅片
材料：	单晶硅
成长方法：	CZ
类型/杂质：	P型
晶向：	<100>
电阻率：	0.5-3ohm.cm, 3-6ohm.cm
氧含量：	≤1.0×10¹⁸at/cm³(20ppma)
碳含量：	≤5.0×10¹⁶at/cm³(1ppma)
少子寿命：	≥10μs
边长：	156 ±0.5mm
TTV：	≤50μm
厚度：	200μm±20μm

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