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能是测量载体的加速度,微陀螺仪的功能是测量载体的角速度。微加速度计最典型的原理是:以一个质量块作为敏感部件,当载体有某一方向的加速度时,质量快向一个方向偏移,然后通过电极测量这个位移量(或产生偏移的惯性力)换算为加速度按位移量(或产生偏移的惯性力)的测量方法分类有:压阻式加速度计、电容式、隧道电流式、谐振式、热传感式。 mems惯性传感器模块中的三轴陀螺由adi公司3个单轴mems角速度传感器adxrs150组成,其角速度范围为150°/s;三轴加速度计采用 adi公司的mems加速度传感器adxl103和adxl203组成,其中adxl103是单轴加速度传感器,adxl203是单芯片双轴加速度传感器,将其正交放置组成三轴加速度计来测量运行载体沿其正交轴方向的线加速度。所选陀螺及加速度计均采用微机械技术,性能优越、价格低廉,具有较高的性价比。根据惯性传感器信号特点及a/d输入范围,系统的信号调理模块主要包括信号的放大和低通滤波处理。选择具有高精度、零漂移、轨对轨特点的运算放大器作为信号放大及缓冲器来满足设计需要;陀螺性能好坏主要取决于陀螺漂移,而陀螺噪声是引起陀螺漂移的一个重要因素,在此设计的陀