■晶圆检测 目的：检测晶圆盒中的晶圆 应用：激光发射器发出细小光束，带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上，当升降器上下运动时检测。 传感器：m12e2ld & q23sn6r w/ar19-00，加装一个0.5mm（0.020）矩形光缝 ■300mm晶圆检测 目的：检测300mm foup中晶圆的有无 应用：两个picodot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿，则认为晶圆错位，此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用，可选用pd45vn6c50. 传感器：pd45vn6c200 ■检测晶圆盒 目的：可靠检测各种颜色的晶圆盒 应用：晶圆盒由不同颜色的材料制成。vs1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益，使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。 传感器：vs1an5c10 ■检测晶圆是否探出 目的：检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆 应用：向外凸出的晶圆容易被折断或损坏，这会减少产量并能导致停工。md14bb6放大器配合sp8er1远程传感器，可提供
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