株式会社村田制作所现已开发出针对工业设备的、可实现高jing度倾斜检测的数字双轴MEMS倾角传感器“SCL3400系列。

　　本产品作为成熟的单轴模拟高性能倾角传感器（SCA103T系列）的后继产品而开发，可为quan球的各种应用领域提供正确的角度信息。它具有两个测量轴和数字SPI通信接口，可选择测量带宽为10Hz时的?30?和测量带宽为40Hz时的?90?测量模式。包括年久老化量在内，本产品的偏移变量极小，低于典型值0.12?，因此实际上可在免维护的条件下使用。

　　全新开发的MEMS结构为具有多个惯性质体的差分结构类型，采用了将测量误差zui小化的检测方法。本产品的元件和ASIC封装于12针预成型塑料外壳中（测量的尺寸为8.6 ? 7.6 ? 3.3 mm），其可靠性已得到证实。本产品尚处于开发阶段，商品规格、外观有可能在未经事先告知的情况下发生变更。

　　此外，本产品在运行时仅消耗2mA电力，因此适用于电池供电的应用领域。由于它与SCA3300系列的加速度计和SCL3300系列的倾角仪具有相同的针脚布局（针脚兼容），因此无需改变PCB设计即可轻松替换。

　　本产品主要特征包括：

　　高稳定性

　　在同等级产品中偏移变量（年久老化量和温度漂量）zui低

　　广范围的自我诊断功能

　　自我诊断异常检测，并通过输出进行通知的功能

　　高度可靠的3D MEMS设计

　　主要规格

　　注：本产品尚处于开发阶段，商品规格、外观有可能在未经事先告知的情况下发生变更。

　　本产品适用于结构健康监测，可监测在恶劣的室外环境下桥梁、隧道和建筑物等的结构变化。此外，它还适用于激光扫平仪、水平仪和各种测量仪器等需要具备高稳定性，以确保准确的倾斜检测的施工设备和系统：

　　水平仪

　　倾斜检测

　　结构健康监测

　　惯性测量装置（IMUs）

　　定位导航系统