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/cm2。预氧化露点越低,在熔封过程中产生的气泡就越少,当露点超过+20℃时,大量气泡在引线-玻璃界面上形成。fe3o4是最佳的氧化物,而高的含水量会促进氧化过程中fe2o3的形成,所以较干燥的氧化气氛有利于fe3o4的形成,使熔封过程形成较少的气泡。减少气泡数量的方法是使氮基气氛露点低于10℃。在露点为5t的氮基气氛中,产品合格率可达99%以上,而露点为30℃的气氛中合格率仅为65-85%。高质量的封接是在较低露点的气氛中形成的较薄氧化物实现的,其晶间氧化深度大于2.5μm、氧化增重范围为0.02-0.07mg/cm2。schmidt和carter[26]认为使用室内空气时,它的氧化位将随着日常湿度的变化而变化,这是由于h2o和o:均参与形成氧化物,而且h20的量得不到控制,导致氧化一致性不好,所以研究了可伐合金在n2、h2o和h2混合气氛中的预氧化。h2o是一种容易控制的氧化性介质,它能使可伐合金在表面上生成一层附着性好且均匀的氧化物。加入h2是为了防止空气泄露炉内,它可与氧结合成水。该研究确定的最佳工艺条件,即在n2-1%h2o-0.4%h2的气氛下、1000℃、加热10分钟。在这种条件