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力平衡加速度传感器原理设计
个电容器c1的电容随位移增加时，另一个电容器c2的电容则减少，它们的特性方程分别为：可见，电容式传感器做成差动式之后，非线性大大降低了，灵敏度提高一倍，与此同时，差动电容传感器还能减小静电引力测量带来的影响，并有效地改善由于温度等环境影响所造成的误差。 3、电容式差容式力平衡传感器器的工作原理与结构 3.1工作原理如图1所示，差容式力平衡加速度传感器原理框图电路中除了所必须的电容，电阻外，主要由正负电压调节器，四运放放大器lt1058，双运放op270放大器组成。 3.2差容式力平衡传感器机械结构原理由于差动式电容，在变间隙应用中的灵敏度和线性度得到很大改善，所以得到广泛应用。如图2所示为一种差容式力平衡电容差容式力平衡传感器原理简图。主要由上、下磁钢，电磁铁，磁感应线圈，弹簧片，作电容中间极的质量块，覆铜的上下极板等部分组成。传感器上、下磁钢通过螺钉及弹簧相连，作为传感器的固定部分，上，下极板分别固定在上、下磁钢上。极板之间有一个用弹簧片支撑的质量块，并在此质量块上、下两侧面沉积有金属（铜）电极，形

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