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  • 电磁激励微谐振式传感器的设计与制作

    态分析测试，利用频率扫描仪构成的开环扫描系统测试了器件在空气中的频率特性曲线如图5，谐振梁的峰值大约在72.30 khz处，-3 db带宽约为50 hz。计算得出谐振梁的品质因数q大于1 200。 利用锁相放大器构成的开环扫描系统测试了器件在高真空中的频率特性曲线如图6，谐振梁的峰值大约在72.395 khz处，-3 db带宽约为10 hz。计算得出谐振梁的品质因数q大于7 000。 在室温条件下，对真空封装的压力传感器进行了压力特性测试，测试采用英国druck公司的dp1610型压力校验仪，电路为自制的锁相环放大电路。压力特性曲线测试结果如图7所示。(激振电压峰值为50 mv) 图7中前两根曲线分别是压力传感器的中、下谐振器的压力输出曲线。可以看出，两者的线性度较差，线性相关系数r2分别为0.996 6和0.999 6，灵敏度(曲线斜率)分别为144.16、81.612 hz／kpa。最后一根曲线是将上面两个谐振器的输出信号作差分得出的输出曲线，其线性相关系数r2为0.999 9，线性度明显好于单个谐振器输出，灵敏度为225.77 hz／kpa，高于前两

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