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  • Lasertec推出低运行成本、面向65

    异物的问题明显起来,有必要对掩膜进行定期的检查。 此次的matrics系列使用248nm的水银氙气灯做为光源,与激光光源相比,降低了运行成本,提高了可维护性。还能够检查贴有护膜的掩膜。采用了电源和控制系统内置的小型化设计(1555mm×2555mm)。可以选配掩膜自动搬运功能。 lasertec自1976年开始开发和销售光掩膜缺陷检查设备。此次的matrics系列把原来的技术进行了大更新提高了检查的灵敏度。matrics系列已投产了多晶元模式专用的“x651”、单晶元模式专用的“x652”、多晶元和单晶元模式兼用的“x653”3个型号。来源 www.pcbtn.com

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