ibad供应商_ibad中文资料_ibadPDF下载地址价格行情【维库电子市场网】

PID调节器对制备纳米钛薄膜的重要作用
方昕1，方仁昌2（1.中国工程物理研究院工学院，四川绵阳 621900；2.中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳 621900）摘要：简述了ibad（离子束辅助沉积）法制备纳米钛膜的过程中，关键工艺因素是如何将衬底温度维持在一个适当的范围，并运用pid（比例积分微分）调节器较好地实现这一要求的。关键词：纳米钛膜；衬底温度；pid调节器中图分类号：th861；tf823 文献标识码：a 文章编号：1671-4776（2003）12-0022-021引言纳米钛薄膜的晶粒尺寸直接影响到它的结构和性能。应用要求钛薄膜的晶粒尺寸控制在尽可能小的范围。在采用ibad法制备钛薄膜的工艺实践中，应用pid调节器调节工件样品台的冷却水流量，可使衬底温度处在一个相对变化范围较小而绝对量值较低的状态下，并且成功地实现了制备小尺寸的纳米钛晶粒薄膜。2钛的贮氢性能在某些特殊的应用场合，要在钼金属衬底上生成一层对氢的同位素有着良好贮存能力的活性金属薄膜。经过氢饱和工艺处理的金属薄膜，已较彻底地除去了其他的气体成分，仅留下与金属原子数相比要高到适当程度的氢的同位素原子。在这些应用领域里，在密

维库电子市场网-十六年专注打造电子元器件采购网