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气检漏装置适用于工业领域高压开关管、微波发射管等要求大批量、多品种、高灵敏度、快速检漏产品的检漏设备。该系统由检漏仪和检漏平台两部分组成,检漏仪用于判断工件是否泄漏;检漏平台对工件进行真空预抽,检漏平台有左右两组相互独立的检测工位,每组工位设置了1-3个检测接口;一组工位抽真空的同时,另一组工位进行检测或装卸工件,缩短了检测周期,提高了工作效率。由可编程工业控制器(plc)对检测全过程进行自动控制,保证了系统的稳定性、可靠性,操作十分简单,方便了使用者。主要技术指标和参数:1.电源: 220v 12a2.真空度:5×10-3 pa·m3/s3.工作节拍空载:20s/拍4.启动时间:<10min5.响应时间: <5s6.压缩空气: 5~6kg7.环境温度: 5~35℃8.空气相对湿度: <80 9.工作环境附近无强磁场、无剧烈震动、无腐蚀性气体;室内通良好,以避免氦气干拢。 参考文献(1) 半导体技术 1977-5p17(2) 军用电子元器件破坏性物理分析方法,国军标草稿1998年(3)关奎之等 有关真空检漏系统几个参数的探讨,真空 1985.2中川洋(日) 防止泄漏的理论和实际应用,p.1