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气检漏装置适用于工业领域高压开关管、微波发射管等要求大批量、多品种、高灵敏度、快速检漏产品的检漏设备。该系统由检漏仪和检漏平台两部分组成，检漏仪用于判断工件是否泄漏；检漏平台对工件进行真空预抽，检漏平台有左右两组相互独立的检测工位，每组工位设置了1-3个检测接口；一组工位抽真空的同时，另一组工位进行检测或装卸工件，缩短了检测周期，提高了工作效率。由可编程工业控制器（plc）对检测全过程进行自动控制，保证了系统的稳定性、可靠性，操作十分简单，方便了使用者。主要技术指标和参数：1．电源: 220v 12a2．真空度:5×10-3 pa·m3/s3．工作节拍空载:20s/拍4．启动时间:＜10min5．响应时间: ＜5s6．压缩空气: 5～6kg7．环境温度: 5～35℃8．空气相对湿度: ＜80 9．工作环境附近无强磁场、无剧烈震动、无腐蚀性气体；室内通良好，以避免氦气干拢。 参考文献（1） 半导体技术 1977-5p17（2） 军用电子元器件破坏性物理分析方法，国军标草稿1998年（3）关奎之等 有关真空检漏系统几个参数的探讨，真空 1985.2中川洋（日） 防止泄漏的理论和实际应用，p.1
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