安捷伦科技推出Agilent 4075和4076 DC RF脉冲参数测试仪
出处:ipman 发布于:2007-12-17 13:49:54
Agilent 4075和4076为鉴定新的器件结构提供了所需的灵活性,如超薄栅氧化物MOSFET,或通信应用中使用的高速半导体器件。这两款测试仪支持10ns短脉冲式IV测量,如高速逻辑应用中使用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外,Agilent 4076支持直到1fA的超低电流测量功能。
与整个4070系列一样,Agilent 4075和4076支持行业标准300mm SECS/GEM自动化协议,保证制造设备共享一致的界面和行为。
现代超薄栅MOSFET容易受到电子隧道的影响。为鉴定其电容和电压(CV)行为特点,测量频率必需超过几兆赫。但是,高频CV (HFCV)及实现鉴定必需的射频频率CV (RFCV)测量技术之间相互抵触。Agilent 4075和4076同时支持HFCV (4294A)仪器和RFCV (ENA/PNA)仪器,使得用户能够选择方法,满足自己的工艺技术和生产测试需求。
Agilent 4075和4076都把高速电容测量单元(CMU)集成到测试头中。这一功能可以在1kHz - 2MHz频率范围内,对层间/层内氧化物进行快速电容测量,从而改善吞吐量,降低测试成本。
安捷伦的这两款测试仪都支持利用PNA进行RF的S参数测试功能,相对于目前市面上使用VNA的解决方案,以PNA为主的RF解决方案可提供更高的产出速度。此外,Agilent 4076还为生产测试提供了实验室测试功能。
Agilent 4075和4076所有的RF、HFCV和超短脉冲式IV测量功能都可以在整个新设计的直接对接接口上使用。这种直接对接的设计可通过自动化的探针卡更换机制,让使用者轻易地控制和变换探针卡,而且这种RF直接对接的方式也不会减少任何的DC针脚。
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