压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用
出处:维科网 发布于:2017-09-13 10:59:37
压电式移相器及其在全息干涉计量术中的应用,让我们共同了解一下。
1、压电式移相器
移相器是移相干涉仪中非常重要的部件,压电式移相器由于分辨率高、响应速度快、易于控制、性能稳定,因此被广泛使用。
但压电陶瓷也有它的缺点,即它的非线性误差以及较小的位移量,这是影响它应用范围扩大的原因。
针对这个问题,哈尔滨芯明天科技有限公司通过采用放大特性的柔性铰链式结构,设计研制压电陶瓷(PZT)电压驱动电路来驱动相移执行机构以达到移相的目的。再结合光学器件、下位机编程、以及在软件开发平台上编写数据处理程序,研制了一套移相控制测量装置。
为了有效解决PZT非线性、蠕变特性、迟滞特性对移相的影响,该装置采用了电压-位移形成的闭环反馈控制,实现自适应的微米级驱动定位控制,大大改善了非线性,降低了外界影响、干扰,对相移的测量起到了明显改善。
压电式移相器通过3组压电陶瓷叠堆驱动,可用于直径达106mm孔径镜片,位移行程可达20um以上。实验已证明,该压电式移相器效果非常好,且控制可达亚纳米级,它可大大提高测量度,在相位测量技术中具有广泛的实用价值,且已广泛用于各种现代干涉仪器中。
平面干涉仪
2、压电式移相器在全息干涉计量术中的应用
在全息干涉计量术中,需要确定物体位移及形变的大小及方向,在实时检测过程中还需要对物体位移、形变的方向做出即时、迅速的判断。而这种判断的方法有很多,但有的较麻烦、有的计算复杂、有的需要特殊装置,还有的看上去非常不直观等等,这都给全息干涉计量带来很多不便。
而压电移相器恰恰能解决以上所有问题。
在实时全息干涉计量术中,为了判别物体位移、形变的方向,在参考光路上放置一个压电移相器,它实际上是一面利用压电效应控制其空间位置的小反射镜,我们使用这个移相器,镜面直径可达106mm,控制电压在0-120V范围内调节反射镜前后移动20微米或更大。利用压电移相器来改变参考光光程,并根据此时干涉条纹的动向来判断物体位移、形变的方向,此方法简单、方便、直观,能迅速地对物体位移、形变的方向作出可靠的判断。
版权与免责声明
凡本网注明“出处:维库电子市场网”的所有作品,版权均属于维库电子市场网,转载请必须注明维库电子市场网,https://www.dzsc.com,违反者本网将追究相关法律责任。
本网转载并注明自其它出处的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品出处,并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系,否则视为放弃相关权利。
- 光耦详细应用教程2024/4/26 16:43:32
- 采用沟槽MOS结构,使存在权衡关系的VF和IR相比以往产品得到显著改善 ROHM推出实现业界超快trr的100V耐压SBD“YQ系列”2024/4/26 15:56:19
- 可控硅的工作原理、分类、作用与三极管的区别、与场效应管区别、典型应用接线图2024/4/24 17:56:03
- N型和P型半导体的导电特性2024/4/24 17:34:41
- NPN与PNP的基础知识介绍2024/4/23 17:48:16
- 英特尔数据存储如何操作和实现
- 什么是微动开关_微动开关有什么用_微动开关使用方法
- VCC,VDD,VEE,VSS在电源原理图中有什么区别?
- 低压配电系统设计规范_低压配电系统设计注意事项
- xEV 主逆变器电源模块中第四代 SiC MOSFET 的短路测试
- 光耦详细应用教程
- 定义绝缘耐久性评估的电压脉冲测试要求
- 采用沟槽MOS结构,使存在权衡关系的VF和IR相比以往产品得到显著改善 ROHM推出实现业界超快trr的100V耐压SBD“YQ系列”
- NOVOSENSE - 纳芯微推出车规级温湿度传感器NSHT30-Q1,助力汽车智能化发展
- Keysight - EV 电池设计创新:扩大续航里程、延长电池寿命