表面弹性波式进气压力传感器的识别
出处:VPYONG 发布于:2008-11-14 14:26:35
表面弹性波式进气歧管压力传感器如图1所示。它是在一块压电基片上用超声波方
图1 表面弹性波式进气歧管压力传感器
法加工出一薄膜敏感区,上面刻制换能器(压敏SAW延时线),换能器与电路组合成振荡器。为了提高测量 ,补偿温度对基片的影响,在薄膜敏感区边缘设置另一只性能相同的换能器(温基SAW延时线)。换能 器是在抛光的压电基片上设置两个金属叉指构成,若在输入换能叉指T1上加电信号,便由逆压电效应在基片 表面激励起弹性表面波,传播到换能叉指T2转换成电信号,经放大后反馈到T1以便保持振荡状态。表面弹性 波(SAW)在两个换能叉指之间的传播时间即是所获得的延迟时间,其大小取决于两换能叉指间的距离。由 于导人的进气歧管压力作用于压电基片上,压力变化将在薄膜敏感区产生应变,即使换能叉指间距离发生变化。因而,表面弹性波传播的延迟时间相应变化。这样,根据与延迟时间成反比的振荡频率,即可输出压力信号。
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