半导体生产
出处:yuhai718 发布于:2007-04-29 10:00:45
集成电路通常用硅制造,一种非常普遍且分布广泛的元素。石英矿就是一整块二氧化硅,或叫做silica。普通的沙子就是由小石英颗粒组成的,所以它主要也是silica。
尽管硅化物储量丰富,但硅本身不会自然生长。它是通过在电炉里人工加热silica和碳来制得的。碳和原本silica中的氧结合,留下或多或少熔融状态的硅。当它冷却时,无数微小的晶体就形成了,他们又会合成在一起形成有细密纹理的灰色固体。这种硅被称为多晶硅,因为它是由大量晶体组成的。杂质和混乱的晶体结构使这冶金级别的多晶硅不适合半导体制造。
冶金级别的硅能进一步提纯而产生特别纯净的半导体级别物质。净化从把天然硅转化为易挥发性化合物,通常是trichlorosilane,开始。经过反复的蒸馏后,用氢气把特别纯的trichlorosilane还原为硅。终的产物非常纯净,但仍旧有多晶体。实用的集成电路只能用单晶物质制造,所以下一步就是生长一个适合的晶体。
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