电涡流传感器（Eddy Current Sensor）是一种基于电磁感应原理的非接触式测量装置，广泛应用于位移、振动、厚度、导电率等参数的检测。以下是其工作原理的详细解析：

1. 工作原理

1.1 电涡流效应

当交变电流通过传感器的线圈时，线圈周围产生交变磁场。若此磁场靠近导电体（如金属），导体表面会感应出闭合环形电流（即电涡流）。电涡流又产生一个与原磁场方向相反的次级磁场，导致线圈的等效阻抗发生变化。

1.2 阻抗变化与测量

线圈的阻抗变化（ΔZΔZ）与以下因素相关：

• dd：线圈与导体间的距离（被测参数）。

• σσ：导体的电导率（如铜 vs 铝）。

• μμ：导体的磁导率（铁磁性材料影响显著）。

• ff：激励频率（通常为1kHz~2MHz）。

通过测量线圈阻抗的变化（如电感、电阻或品质因数），可反推出目标参数（如位移或材料特性）。

2. 传感器结构与信号处理

2.1 基本结构

• 探头线圈：单匝或多匝空心线圈，通常由高频导线绕制。

• 振荡器：产生高频交流激励信号（典型频率：100kHz~1MHz）。

• 信号调理电路：将阻抗变化转换为电压/电流信号（如电桥电路、相位解调）。

3. 关键特性与性能参数

4. 应用场景

4.1 位移与振动测量

• 旋转机械：监测涡轮机轴的径向振动（如API 670标准）。

• 精密加工：控制机床刀具与工件的间隙（分辨率0.1μm）。

4.2 材料检测

• 导电率分选：区分铝合号（如6061 vs 7075）。

• 裂纹探测：表面裂纹导致涡流路径变化，阻抗异常。

4.3 特殊应用

• 轴承健康监测：通过间隙变化预测磨损。

• 金属薄膜厚度测量（需高频激励，如2MHz）。

5. 优缺点分析

6. 选型与校准要点

1. 探头选择：

   • 直径越大，测量范围越大但分辨率降低（如Φ5mm探头量程2mm，Φ50mm量程50mm）。

2. 频率选择：

   • 高频（>500kHz）用于薄导体或高分辨率，低频（<100kHz）用于厚导体或深穿透。

3. 校准步骤：

   • 使用标准试块（已知电导率）在目标距离下校准输出曲线。

7. 前沿技术发展

• 多频涡流检测：同时激励多个频率，区分表面与深层缺陷。

• 阵列探头：实现大面积快速扫描（如飞机蒙皮检测）。

• AI信号处理：通过深度学习识别缺陷模式（如裂纹分类）。