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重掺硅衬底材料中氧沉淀研究进展
张红娣，刘彩池(河北工业大学半导体材料研究所，天津 300130)摘要：对国内外在重掺硅中氧沉淀方面的研究做了综合阐述，对氧沉淀研究现状和存在问题进行了讨同时就热处理，掺杂剂对氧沉淀的影响做了浅析，使人们对重...
分类：其它 时间：2007-04-29 阅读：2337 关键词：重掺硅衬底材料中氧沉淀研究进展1100200414202SIO
硅衬底制备工艺简介
课程内容：1硅单晶的切割1.1工艺作用1.2切割原理1.3切割设备1.4切割方法1.5切割要求1.5.1硅片厚度1.5.2硅片两面平行度1.5.3硅片厚度公差1.6注意事项2研磨工艺2.1研磨的作用2.2研磨的方法2.2.1单面研磨2.2.2双面研
分类：其它 时间：2007-04-29 阅读：3153 关键词：硅衬底制备工艺简介
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