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电磁激励微谐振式传感器的设计与制作
0 引 言 谐振式压力传感器的基本机理是利用压力敏感元件感受到压力，使与之相关联的谐振器的谐振频率发生变化，通过测量谐振器频率的变化来检测压力。与通常的诸如压阻式和电容式压力传感器相比，谐振式压力传...
分类：传感技术 时间：2009-10-30 阅读：3101 关键词：电磁激励微谐振式传感器的设计与制作DP1610传感器
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