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集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度

摘 要： 集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备，通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选。本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上，利用高频...

时间：2011-07-25 阅读：10230 关键词：集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度