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MEMS压力传感器

MEMS（Micro Electromechanical System，即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的很新成...

分类：元器件应用时间：2022-01-19 阅读：2006 关键词：MEMS压力传感器原理与结构MEMS

压力传感器是指将压力转换为电信号输出的传感器。压力传感器一般由弹性敏感元件和位移敏感元件（或应变计）组成。弹性敏感元件的作用是使被测压力作用于某个面积上并转换...

分类：嵌入式系统/ARM技术时间：2011-09-04 阅读：3862 关键词：EM EMS 传感器

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。　　...

分类：传感技术时间：2011-08-29 阅读：5945 关键词：分析MEMS压力传感器的原理设计与应用MEMS压力传感器MEMS压力传感器

引言 MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。MEMS是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构...

分类：模拟技术时间：2011-08-25 阅读：2458 关键词：EM EMS 传感器

继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片，主要针对量程为15PSI的高度表市场，并已开始提供样品。据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感...

分类：传感技术时间：2009-11-18 阅读：3308 关键词：敏芯微电子推出MEMS压力传感器芯片传感器芯片

硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计，是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势：成本低，应力小，性能高，可以大规模生产。压力传感器分为两种，一种是基于压...

分类：传感技术时间：2007-04-29 阅读：221 关键词：mems压力传感器

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