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国外半导体制造设备市场
arf步进扫描光刻机顺利增长，占全球光刻设备市场的 27％。2004年全球光刻设备增长46.6％，达到57.17亿美元，预计2006～2007年，arf步进扫描光刻机的市场销量将占全球光刻设备市场的半壁江山。2003年全球光刻设备销量达454台，其中新设备为365台；垄断光刻设备市场的三大公司asml公司售出169台，占37％，销售额18亿美元；nikon公司售出205台，占45％，销售额13亿美元，canon公司售出80台，占18％，销售额12亿美元。2004年asml公司销售282台、销售额30.22亿美元、市场份额52.9％，占据首位，nikon公司售出205台（其中二手设备55台），销售额14.11亿美元、24.7％的市场份额位居第二，canon公司以12.84亿美元、22.5％的市场份额排名第三。1.2 刻蚀设备目前全球有百余家刻蚀设备供应商、美、日两国大公司（applied materials、lam research、tel）占据着全球主流刻蚀机市场的绝大部分份额，2003年刻蚀设备全球市场销售额19.32亿美元，其中am公司在metal方面，lam公司在poly方面、tel公司在

温度记录仪在疫苗冷链管理中的应用
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