Sensirion第三代MEMS流量传感器用于微流体系统数字化测量
出处:xtihc 发布于:2007-12-20 10:24:52
新型OEM传感器通过使用OEM组件,原有微流体产品范围得到扩大。组件价格优惠、结构紧凑,适用于诊断、医疗和生物技术领域。型号的传感器可测出3亳升/分钟以下(含3亳升/分钟)的流量,而且在微缩造型结构方面该技术取得了突破。传感器重量减轻后只有6克。
传感器芯片的集成度高,在降低费用、缩小外形和减轻重量方面起到了积极作用。这种传感器可以探测介质,测量低至纳升/分钟的流量,同时具备非常高的反复度。其动作时间在毫秒范围内,可有效检测并控制微流体系统中的动态变化。测量过程中传感器与介质不发生接触。传感器芯片可以隔着玻璃毛细管壁进行测量(美国号6813944),介质仅与毛细管的内壁接触。
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