集成横向PIN光电二极管
出处:yunlaishi 发布于:2008-12-02 10:45:27
图1中介绍了一种在轻掺杂的P型衬底(Na=6x1012cm-3)上采用1pm NM0S工艺制作的横向PIN光电二极管[59~60]。
由于PIN结构是直接制作在高电阻率的衬底上,因而I层的厚度可以和51材料中870 nm光注入的吸收深度(20 gm)相比拟。因而该PIN探测器的量子效率较高,在未增加抗反射涂层,5 V反向偏压条件下,可测得670 nm波长下响应度为0.32 A/W,870 nm波长下的响应度为6.45 A/W,换算成外部量子效率可达到67%。而且由于衬底的轻掺杂,它的反向击穿电压可以超过60V,意味着获得厚度更大的I层。在测量该光电二极管的带宽的时候,在探测器上施加波长850 nm、脉宽200 fs、间距13.2 ns(15 MHz)的近似delta函数光脉冲信号,通过测量探测器对此时域上梳状排列脉冲序列响应的光谱内容,即可测算探测器的频响特性。通过这种方法可得到此探测器3 dB带宽约为1.3 GHz。
在此OEIC中,NMOS晶体管用0.8 gm自对准硅栅工艺制作在一个P阱内,制作过程中采用标准的Locos隔离工艺,P阱掺杂浓度约为1.2×1016cm-3。
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