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管式电炉合成氮化镓晶粒的研究

黄萍，薛成山，李秀琴，魏琴琴(山东师范大学物理系，半导体所，山东 济南 250014)摘要：以Ga2O3为Ga源，氨气(NH3)为N源，通过氮化反应合成了高质量的GaN晶粒。XRD，FTIR和TEM对生成产物的组分、结构进行了研究。结果...

分类：其它 时间：2007-04-29 阅读：2934 关键词：管式电炉合成氮化镓晶粒的研究2003