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衬底温度对反应溅射ZnO:Al导电薄膜性能的影响

摘要：衬底温度在反应溅射制备ZnO:Al薄膜过程中是一个重要的工艺参数，直接决定这薄膜的性能。本文用中频脉冲磁控溅射方法，采用锌铝合金（Al的含量为2%）靶，在衬底温度17...

分类：基础电子 时间：2014-02-24 阅读：3121